용도

 Control Valves는 박막을 형성하는 반도체 제조용 장비에서 공정 체임버 내의 압력을 정밀하게 조절하는 핵심 부품입니다.

 설정된 압력을 유지하기 위해 제어기에 의해 진공압력을 읽어 들이고 이를 실시간 으로 정확하게 계산하여 밸브의 플레이트 각도를

 서보모터에 의해 정밀하고 빠르게  움직여주는 기능을 합니다. 고객의 요구에 따라 표준화된 KF, ISO, CF, ASA 플랜지와 구경에 대한

 제품공급을 하고 있습니다. 또한 타사와 차별화된 고온용 밸브를 설계하여 공정에서 생성되는 슬러지 생성 문제를 해결한 제품을 공급하고 있습니다.

 사용처

 CVD, ETCHER, PVD, SPUTTER