용도

 Control Valves [Butterfly valve, Pendulumm, Throttling valve]에서의 핵심 요소로 외부의 압력센서신호를 받아 설정된 압력을 유지하기 위해

 conductance를 자동으로 조절해주는 제어기입니다.

 마이크로프로세서에 의해 주변기기로부터 입력신호를 받아 이를 연산하고 결과에 따라 액츄에이터를 자동제어 하게 됩니다. LCD 디스플레이를 

 통해 P, I D 값 설정을 할 수 있고 밸브의 상태를 확인 할 수 있습니다. 설정된 압력을 유지하기 위해 제어기에 의해 진공압력을 읽어 들이고 이를

 실시간으로 정확하게 계산하여 밸브의 플레이트 각도를 서보모터에 의해 정밀하고 빠르게 움직여주는 기능을 합니다.

 사용처

 CVD, ETCHER, PVD, SPUTTER, 자동 제어 밸브