용도

 High vacuum valve는 앵글밸브라고도 하며 박막을 형성하는 반도체 제조용 장비에서 공정체임버 내의 압력을 차단하고 유지시켜주는 부품입니다.

 작동방법에 따라 수동으로 작동시키는 매뉴얼밸브와 공압에 의해 작동되는 공압식밸브가 있습니다. 공압식은 스프링력에 의해 항상 닫히게 하는

 단동식과 열고 닫힘을 공압에 의해 하는 복동식이 있습니다. 고객의 요구에 따라 표준화된 kF, ISO, CF, ASA 플랜지와 구경에 대한 제품공급을

 하고있습니다. 또한 타사와 차별화된 고온용 밸브를 설계하여 공정에서 생성되는 슬러지 생성 문제를 해결한 제품을 공급하고 있습니다.

 사용온도조건과 사용하는 부식가스에 따라 맞춤형 재질(오링, 벨로즈)을 선택하여 제작공급이 가능합니다.

 사용처

 CVD, ETCHER, PVD, SPUTTER